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科研教學類
DP-HRM-1射頻磁控濺射鍍膜裝置/磁控濺射鍍膜裝置
射頻磁控濺射鍍膜裝置/磁控濺射鍍膜裝置
射頻磁控濺射鍍膜裝置/磁控濺射鍍膜裝置 型號;DP-HRM-1
可開設的實驗
1、掌握射頻磁控濺射法制膜的基本原理;
2、了解磁控濺射鍍膜儀的操作過程及使用范圍;
3、磁控濺射法制備金屬膜、半導體膜、化合物膜、介質(zhì)膜等薄膜。
主要參數(shù)
1、濺射鍍膜室:由不銹鋼底與玻璃鐘罩組成;有效尺寸:Φ220×H230mm3;
2、濺射鍍膜室本底真空:≤1Pa;濺射腔限真空:6×10-1Pa;
3、濺射靶:Φ50mm,濺射靶臺和濺射靶可調(diào)距離:20~60mm;
4、基片加熱溫度可控范圍:室溫~300℃;
5、射頻源率:500W,13.56MHz;
6、氣路系統(tǒng):由兩路轉(zhuǎn)子流量計控制(可選配質(zhì)量流量計);
7、真空系統(tǒng):2XZ-4型旋片真空泵,抽氣速率:4L/S,單相220V交流電源供電;
8、對過流過壓、斷路等異常情況行報警,并執(zhí)行相應保護措施;
9、供電電源:AC220V,50Hz,整機率2KW。
2.
大率磁力攪拌器 磁力攪拌器 大率攪拌器 型號:DP-99-1
、DP-99-1大率磁力攪拌器用途:
大率磁力攪拌器能在較廣的速度范圍內(nèi)對液體溶液行穩(wěn)定的攪拌,特別適合小體積的樣品,是石油、化、藥衛(wèi)生、環(huán)保、生化實驗室、分析室、教育科研的具。
二、大率磁力攪拌器基本參數(shù):
1.電源:220V 50HZ
2.加熱率:600W
3.作臺面積:300*300(MM)
4.攪拌容量:100-10000(ML)
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